物聯(lián)網(wǎng)RFID系統(tǒng)提升半導(dǎo)體制造行業(yè)生產(chǎn)效率

由于芯片短缺問題和近2年海運(yùn)擁堵和成本上升等因素，致使全球資本對于芯片制造工廠的投入增大，而中興、華為的例子已經(jīng)凸顯出國產(chǎn)半導(dǎo)體供應(yīng)鏈的重要性，除去地緣政治上的意義，發(fā)展半導(dǎo)體其實是中國經(jīng)濟(jì)的轉(zhuǎn)型的必走之路。

半導(dǎo)體生產(chǎn)是一種高度復(fù)雜的工藝，涉及數(shù)百個工序。由于尺寸特殊且非常精密，幾乎無法手動生產(chǎn)集成電路。此外，生產(chǎn)對純度、潔凈度和功能性提出了嚴(yán)格要求。因此，半導(dǎo)體工廠需要高度自動化、智能互聯(lián)、模塊化且靈活的生產(chǎn)理念，物聯(lián)網(wǎng)RFID技術(shù)推動半導(dǎo)體行業(yè)的自動化發(fā)展，提高芯片企業(yè)產(chǎn)能！

方案一：RFID在半導(dǎo)體行業(yè)天車設(shè)備的應(yīng)用

由于12寸晶圓盒非人力能所搬動，需要用到天車設(shè)備進(jìn)行搬運(yùn)，將分體式低頻讀寫器JY-V640安裝在天車設(shè)備，識別FOUP的TI標(biāo)簽部署在行車節(jié)點(diǎn)，當(dāng)天車設(shè)備經(jīng)過是，讀寫器自動感應(yīng)TI標(biāo)簽，上傳至后臺管理系統(tǒng)，系統(tǒng)根據(jù)指令快速調(diào)度天車設(shè)備的下一步工序路徑，實現(xiàn)井然有序的工作。

方案二：RFID半導(dǎo)體晶圓產(chǎn)線的應(yīng)用

將RFID讀寫器部署在機(jī)械手臂，晶圓盒部署RFID載碼體，當(dāng)機(jī)械手臂開始工作時，讀寫器自動采集載碼體信息，及時了解是什么產(chǎn)品、如何加工、何時加工，并跟蹤晶圓在加工流程中的具體位置，可顯著減少晶圓的供應(yīng)時間，并充分減少該工序的工作量，倉儲管理系統(tǒng)將RFID的信息與生產(chǎn)控制系統(tǒng) (MES) 的信息關(guān)聯(lián)在一起，可實時監(jiān)測所有晶圓。

方案三：RFID在半導(dǎo)體晶元儲存柜的應(yīng)用

將RFID讀取器部署在儲存柜承載平臺支撐板下方，將RFID載碼體安裝至晶圓盒，當(dāng)晶圓進(jìn)入儲存柜時，RFID讀取器識別RFID載碼體來監(jiān)測拾放物料期間晶圓的儲存位置。因此，必要時可立即找到所有儲存的晶圓。

方案四：RFID在半導(dǎo)體車間AGV搬運(yùn)機(jī)器人的應(yīng)用

在半導(dǎo)體車間實現(xiàn)無人化運(yùn)輸管理，采用AGV小車進(jìn)行物料運(yùn)輸，將RFID讀寫器安裝在AGV小車底部，在運(yùn)輸軌道節(jié)點(diǎn)部署RFID載碼體，當(dāng)AGV小車經(jīng)過軌道節(jié)點(diǎn)時，讀寫器自動采集載碼體信息，實時掌握物料的運(yùn)輸情況及其往哪個生產(chǎn)工序運(yùn)輸。

• 實施效益

1，避免人為原因?qū)е路胖玫母叨纫约皵?shù)量有限，更加精準(zhǔn)利用空間；

2，避免人工帶來出錯、耗時等問題；

3，可以跟蹤所有的物料流；

4，及時掌握晶圓芯片的存取情況；

5，減少污染，保持晶圓潔凈；

6，提升半導(dǎo)體行業(yè)自動化管理水平。

設(shè)備配置

        面向半導(dǎo)體制造業(yè)開發(fā)的半導(dǎo)體RFID讀寫器，采用HDX半雙工數(shù)據(jù)傳輸模式，支持SECS協(xié)議和Modbus RTU協(xié)議，符合世界SEMI標(biāo)準(zhǔn)，兼容TI公司產(chǎn)的CID載體，具有出色的讀寫可靠性和耐環(huán)境性，支持外部光電開關(guān)的IO信號觸發(fā)讀卡。